主要功能:

   1. 用于替代目前用的HF INJECTOR TANK(983505-001),该加热器具有加热功能,可将凝聚于INJECTOR TANK底部的HF液体加热气化,提高清洗效率,减少PARTICLE的产生.

   2. 加热温度常规设定到60度,可于50-70度之间调节,自动温度控制,数显温度,带超温报警功能.

   3. 加热器选用硅橡胶加热块,功率150W,加热面积与腔体底部面积相当,加热均匀.

 

结构图(控制器未包括在图纸内):

 

1. 与HF接触部分均由耐HF的PVDF材料构成.

2. 外盖板为铝板,防止变形.